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利用電漿輔助法進行類鑽碳薄膜濺鍍速率提昇之研究
昇類鑽碳膜之鍍膜速率,本研究中以電漿輔助法結合PVD 真空濺鍍,進行類鑽. 碳薄膜之製作,並探討鍍膜參數與DLC 薄膜鍍膜速率及附著力之關係。 Abstract:.
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