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4.物理蒸镀法(PVD)的各种镀膜方法| 技术信息
高能量的原子、分子与固体在碰撞后,原子会被赶出固体表面。这种现象称为溅射( Sputter )或者是溅镀( Sputtering ),被碰撞的固体称为靶材( Target )。
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