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物理氣相沈積法(Physical Vapor Deposition,PVD)
所用的高溫熱源包括電阻、電弧、高頻電場或等離子體等,由此衍生出各種PVD技術,其中以陰極濺射法和真空蒸鍍較為常用。 1、真空蒸鍍真空蒸鍍或真空蒸發 ...
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