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PVD镀膜工艺- 物理气相沉积
所有PVD工艺中,用于生长薄膜的材料最初均为固体形式,且常被置于工艺腔室内的某处,比如,溅射靶材中。为使材料气化且随后能以薄膜的形式聚合沉积到基材表面,工艺过程中 ...
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