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藍寶石基板上的圖案尺寸與形狀對氮化鎵磊晶成長的影響

圖2-31 PSS 之磊晶成長各階段圖. ... 石基板(Patterned sapphire substrate，PSS)，此技術不僅可以有 ... 這邊引用文獻上的PSS 來解釋，圖4-44 為他們利用乾式.

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