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精密機械小組 - 國家同步輻射研究中心

因系統使用解析度達0.5μm之雷射位置感測器(Position Sensing Device,縮寫為PSD ) 來進行雷射光點的位置分辨與定位，本定位系統之位置解析度為微米等級，兩座支架間的 ...

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