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ALD,原子層沉積技術及應用 - 大永真空設備

... 原子層磊晶(Atomic Layer Epitaxy，ALE)，ALD也是一種化學氣相沉積技術(CVD)， ... cycle，只在基板(Substrate)表面成長單一原子層之薄膜；前驅物(Precursor)只在 ...

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