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下一代EUV光刻机取得重大进展-半导体新闻-摩尔芯球

此问题称为遮罩3D 效果，会导致不必要的图案放置偏移。 ... 然而，这些额外的酸将越来越远离原始光子的位置，导致图像模糊，从而降低分辨率并增加线 ...

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