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由下式換算得到出口端之體積流率，取平均值

換算 得到出口端之體積流率，取平均值可得平均體積流率為. 175 lpm。 (1). Qout1 = 50 ×10 ... (ppm). SF6. 通入50sccm pure SF6. ，L/S後端測得SF6平. 均濃度：289 ppm.

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