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Kayaku PMMA & Copolymer聚合物材料亞太國際電子器材股份 ...

PMMA 是一種非常適合做為微電子製程的聚合物材料。需使用電子束曝光系統，也可以用於晶圓臨時接合劑，保護層等。Copolymer光阻是基於MMA和8.5％甲基丙烯酸的混合物。

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