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Sigma® 沈積系統

Sigma® 沈積系統Sigma 產品系列採用涵蓋傳統PVD 至MOCVD 等的各種沉積技術，支援從100mm 至300mm 的晶圓尺寸 金屬沈積技術 標準PVD – 適用於低表層結構特徵的傳統濺 ...

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