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產品資訊- ULVAC - 優貝克科技(|)

Single-substrate plasma CVD systems. CMD Series. 簡介. 1.CMD系列為可以SiH4或是TEOS來進行SiOx及SiNx成膜的單一 ... 用途. 1.低溫 P-Si, α-Si TFTs. 2.OLED 顯示器 ...

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