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PRODUCTS/ 產品資訊/System 100 -等離子刻蝕與沉積設備

採用真空腔體進樣可進行快速的晶片更換、採用多種製程氣體並擴大了容許的溫度範圍。 ... 選的6 或12路氣箱為製程流程和製程氣體提供了選擇上的靈活性，並可以放置在遠 ...

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