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plasma氣體選擇
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蝕刻技術(Etching Technology)www.tool-tool.com
4-6 電漿蝕刻(Plasma Etching). 利用電漿將蝕刻氣體解離產生帶電離子、分子、電子以及反應性很強(即高活性)的原子團(中性基Radical),此原子團與 ...
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