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4、干法蚀刻（dry etch）原理介绍 - 360Doc

物理蚀刻主要是用plasma轰击wafer表面，粒子与粒子之间发生碰撞，达到蚀刻 ... 各向异性的效果，通过调节化学蚀刻气体比例可以实现不同flim的选择比。

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