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介電層蝕刻則可形成保護導電部分的絕緣結構。蝕刻製程還能 ...

電漿產生Plasma Applicator: 射頻或微波能量注入共振腔解離如CF4 /非氟系(石英)或氟系(藍寶石)等惰性氣體產生電漿。 提供各種電漿Applicator.

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