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電漿源原理與應用之介紹

蝕刻技術中，正離子經由電漿鞘層(Plasma Sheath)加速 ... 面積且均勻之輝光電漿，其電極結構、放電氣體與電 ... 環境工作下，電極材料的選擇是很重要的，通常選用.

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