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半導體製程技術 - 聯合大學

選擇 性蝕刻是將光阻上的IC設計圖案轉移到晶圓表面 ... 氧電漿灰化製程(Oxygen plasma ashing): 去除有機殘餘物 ... 副產品是氣體、液體或是可溶解於蝕刻劑的固體.

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