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學術乾貨丨Plasma etching 處理材料的原理及應用

而幹法刻蝕一般指等離子表面刻蝕(plasma surface etching)，材料表面通過反應氣體電離成等離子等自由基團與材料發生反應從而進行選擇性地刻蝕，被刻蝕的 ...

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