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Thin-Film Deposition Principles & Practice

(2)空氣中的氣體原子或分子介入薄膜中，破壞薄膜的純度。 (3)空氣中的活性原子或分子與薄膜 ... 概略了解，才能選擇適當之真空系統組合，以得到所需之特. 定壓力值。

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