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微波電漿應用於分解半導體製程尾氣之研究

關鍵詞：溫室效應、微波電漿反應器、四氟化碳、添加氣體. 一、 前言 ... 漿(plasma) 。 ... 微波電漿反應器對半導體製程中所用的CF4 氣體的分解去除效率，本實驗選擇全.

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