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plasma氣體選擇
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電漿是什麼
前言電漿(Plasma):在工程應用上我們不可能取出「一個」氣體離子與電子來 ... IAE) 蝕刻速率高且是可受控制的蝕刻輪廓是非等向性且可控制的蝕刻選擇性佳並且是可控制 ...
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