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学术干货丨Plasma etching 处理材料的原理及应用
Plasma 就是等离子(在台湾称为电浆),是由气体电离后产生的正负带电离子 ... 湿法刻蚀是使用特定的溶液与需要被刻蚀的薄膜材料进行化学反应,选择性 ...
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