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高密度電漿(High Density Plasma) | ..:: 馗鼎奈米科技股份有限 ...

由於電漿狀態中具有許多活性粒子，當中會受到電場作用唯有離子與電子，為了提高反應的選擇性則必須要使用這些粒子，尤其是離子，當離子經電場吸引，如果在與基板作用前的 ...

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