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plasma氣體選擇
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電漿處理簡述
電漿包含正離子、電子、中性氣體原子或分子、紫外線以及激發態氣體原子和 ... 我們可以透過選擇氣體混合物、功率、壓力等因素,精確地調整或設定電漿 ...
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