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【NEWS】学术干货丨Plasma etching 处理材料的原理及应用

Plasma 就是等离子（在台湾称为电浆），是由气体电离后产生的正负带电离子以及分子， 原子和原子团组成。只有在强电场作用下雪崩电离发生时，plasma才会 ...

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