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學術乾貨丨Plasma etching 處理材料的原理及應用

學術乾貨丨Plasma etching 處理材料的原理及應用 ... Plasma 就是等離子（在台灣稱為電漿），是由氣體電離後產生的正負帶電離子以及分子，原子和原子團組成 ...

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