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半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？ - 吳俊逸的數位歷程檔

答：利用plasma將不要的薄膜去除 ... 答：利用IPA(異丙醇)和水共溶原理將晶圓表面的水份去除 ... 答：利用渦輪原理,可將壓力抽至10-6TORR.

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