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雙束電漿離子束(Plasma FIB) - iST宜特

iST宜特建置業界最新型FEI Helios Plasma FIB ，蝕刻速率提升20倍，配置高解析度SEM，能在數百微米大範圍內，精準定位出奈米尺度的特徵物或異常點。

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