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SUMMiT製程(Sandia Ultra-planar Multi-level MEM | Ansforce

由美國聖地牙哥國家實驗室於1995年代提出的微機電系統標準製程，主要有十層結構，是由MUMPs製程的七層結構改良而來，設計者所繪製的設計圖必須滿足 ...

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