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沾筆式奈米微影技術在感測器上的應用

在 DPN 製程前，使用酸洗. (piranha solution) 增加靜電附著力。圖 6(a) 為 34 條. 奈米導線的 AFM 掃描 (contact mode, 2 Hz) 影像，. 顯示量測之導線寬度為 300 nm，間距 ...

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