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13.5nm 极紫外施瓦茨希尔德（Schwarzschild）物镜

... holder:Material: InvarOverall weight: 4.9 kg Pinhole array test s. ... 万片镜片，中大多数都是半导体工业的客户，如LLP光源的收集镜及Schwarzschild物镜等。

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