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陰極電弧沈積氮化鋁鈦∕氮化鉻奈米多層薄膜之開發與應用

機械加工業、半導體製程設備組件與汽車零件產業。奈米複合多層硬質鍍膜比起傳統硬質鍍膜 ... 膜表面無任何大的裂縫（crack）、針孔（pinhole），在硬度.

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