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工學院半導體材料與製程設備學程

低孔洞(pinhole)密度[4] ... 此外，還將介紹實驗設計(design of experiment，DOE)原 ... 被使用在需要相對低溫的製程環境上[20]，如半導體製程中的氧化矽、氮化.

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