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高科技設備前瞻技術發展計畫

半導體 領域. 太陽能領域. 生物科技領域. 其他領域 ... 半導體材料成長、設備製程技術. 等等. 如材料特性分析、元件特性分析 ... PILOT RUN(小量試產)費用，小量試.

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