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台積電3奈米開始試產- A3 財經要聞- 20211201 - 工商時報

... 開始進行3奈米測試晶片的正式下線投片的初期先導生產（pilot run）， ... 的半導體廠，以及擁有最大極紫外光（EUV）先進邏輯製程產能的半導體廠。

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