相較於PTFE材質濾膜,UPE濾膜具有與光阻溶劑相近的表面張力,可即時被光阻液潤濕 ... EBR主要的成份為PGMEA及PGME這兩種溶劑,UPE membrane 的耐化性在這兩種溶劑上 ...
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