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某彩色濾光片廠的潔淨室內揮發性有機氣體濃度分佈研究 - Yumpu

機台設備PM 過程中需使用高揮發性有機溶劑如異丙醇、 丙酮等來清潔與擦拭機台, ... 彩色濾光片製造廠潔淨室黃光製程有機溶劑的逸散情形較為嚴重, 其中, 環己酮及PGMEA ...

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