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半導體製造總覽

而矽晶圓的是使用涉及氣體、化學品、溶劑和紫外光的重複加工生產步驟逐層建構而成。 ... 鹼和抗蝕劑溶劑（例如PGMEA，乳酸乙酯）對晶圓造成缺陷，進而產生負面影響。

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