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廢光阻劑回收設備之效益提升

將光阻劑廢液中之溶劑成分(PGMEA)透過蒸發程序而分離，回收再利用到對於. 溶劑品質要求較寬鬆之產業，黏稠物部分則做為替代燃料使用。 光阻劑廢液處理之必要性在於，光 ...

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