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光電業揮發性有機廢氣改善成功案例介紹

彩色濾光片製程之VOCs 來源，主要來自於光阻塗佈製程，其. 主要溶劑成分為丙二醇單甲基醚醋酸酯(PGMEA) ，其他尚含有環己酮. (cyclohexanone)、丙二醇單甲基醚(PGME)及乙醇 ...

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