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以減壓蒸發法回收光阻廢液之可行性探討 - NCU Institutional ...

Abstract: 本研究之化學材料廠所生產之光阻劑所含溶劑－丙二醇單甲醚乙酸酯（PGMEA）、丙二醇甲醚（PGME）、水份（H2O）及環己酮（Anone），以相容性 ...

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