半導體 真空幫浦設備的軸承潤滑,如EDWARDS、LEYBOLD、EBARA。 ... 鐵氟龍(鐵弗龍) PFA:又稱過氟烷基化物,為不粘塗料與FEP一樣在烘烤時熔融流動形成無孔薄膜。
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