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Optical Properties and Microstructure of Ta2O5-x Thin Films ...

五氧化二鉭(Ta2O5)薄膜屬於高價位化合物，具有很低的光學損耗、高的折射率和相當 ... 本研究使用金屬鉭靶並利用反應射頻磁控濺鍍技術鍍著Ta2O5於可撓性基材PET、玻璃 ...

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