要量產3D NAND Flash,除現有製程外,需要使用電漿輔助化學氣相沈積(PECVD)設備和4倍以上的蝕刻液。南韓製造PECVD設備的Wonik IPS、生產蝕刻液的Soulbrain將有獲利良機 ...
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