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半導體設備與製程教學實驗室- 電子工程學系

半導體設備與製程教學實驗室【MB03】. 儀器設備: SEM掃描式電子顯微鏡; 濺鍍機(SP-I)一台; 濺鍍機(SP-II)一台; 電漿輔助化學氣相沉積設備(PECVD)一台; 真空幫浦二台、 ...

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