高沉積速率之PECVD 微晶矽薄膜製程技術與設備。目前較被注意的. PECVD設備種類包括超高頻電漿輔助化學氣相沉積(VHF PECVD)、微波電漿輔. 助化學氣相沉積(MW PECVD)、及 ...
確定! 回上一頁