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PECVD電漿輔助化學氣相沉積系統 - TrendForce

Plasma-Therm是致力於PECVD/HDPCVD/RIE/ICP/DSE的世界知名設備提供商， 產品涵蓋2”~ 12”主流乾蝕刻/PECVD工藝，廣泛應用於半導體、MEMS、三五族(GaAs / SiC ...

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