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PECVD 真空機器人墊-產品介紹 - 科富應用材料有限公司

產品簡介. 1. 應用. PECVD真空機器人墊，在LCD製程設備一環電漿輔助化學氣相沉積系統(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD) 2. 材質. S-Si Pad

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