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pecvd设备构成和功能- 恒塑科技热处理设备生产厂家

一、设备构成pecvd设备主要有以下几个部分组成：1.真空系统（泵组部分），2.淀积部分，3.供气系统，4.射频系统。 1、真空系统真空系统主要由一系列泵和波纹管及阀门等 ...

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